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详解mems技术的发展历史进程

 mems第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末80年代初.当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器.由于薄硅片振动膜在压力下变 形.会影响其表面的压敏电阻走线.这种变化可以把压力转换成电信号.后来的电路...
发布时间：2024-10-17
发布时间：2024-09-24
发布时间：2024-09-19
发布时间：2024-09-18
发布时间：2024-09-13

浅谈mems陀螺仪技术 mems是否取代光纤陀螺仪技术

 mems陀螺仪也称电子式陀螺仪.就是一块芯片. iphone 4上的陀螺仪就是这种.主要作用是在gps没有信号时.通过陀螺仪的作用仍然能够继续精确导航.mems陀螺仪即硅微机电陀螺仪.绝大多数的mems陀螺仪依赖于相互正交的...
发布时间：2024-08-19

mems元器件是如何进行封装的?

 mems是微机电系统(micro-electro-mechanical systems)是指可批量制作的.集微型机构.微型传感器.微型执行器以及信号处理和控制电路.直至接口.通信和电源等于一体的微型器件或系统.mems是随着半导体集成电路微...
发布时间：2024-08-06

mems热式质量燃气表的工作原理及设计

 今天为大家介绍一项国家发明授权专利--一种装有多旁路测量装置的mems热式质量燃气表.该专利由辽宁思凯科技股份有限公司申请.并于2017年3月29日获得授权公告.内容说明本实用新型涉及一种燃气表.具体说涉及一种装...
发布时间：2024-07-19

光纤陀螺仪工作原理解析

 mems陀螺仪也称电子式陀螺仪.就是一块芯片. iphone 4上的陀螺仪就是这种.主要作用是在gps没有信号时.通过陀螺仪的作用仍然能够继续精确导航.mems陀螺仪即硅微机电陀螺仪.绝大多数的mems陀螺仪依赖于相互正交的...
发布时间：2024-07-05
发布时间：2024-06-21
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