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发布时间：2021-12-28
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ald技术在未来半导体制造技术中的应用

 发布时间：2020-05-28
由于低温沉积.薄膜纯度以及绝佳覆盖率等固有优点.ald(原子层淀积)技术早从21世纪初即开始应用于半导体加工制造.dram电容的高k介电质沉积率先采用此技术.但近来ald在其它半导体工艺领域也已发展出愈来愈广泛的 ...<全部>
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汪挺先生被任命为泛林集团公司副总裁兼中国区总裁

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